CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC LOẠI VI MẠCH GaAs

1. Tranzito trường GaAs

Các tranzito trường được chế tạo từ GaAs có độ linh động của điện tử rất cao: 6500 cm2/v.s và độ rộng vùng cấm lớn: 1,43 eV nên đế làm bằng bán dẫn này gần như là chất cách điện vì nó có điện trở suất rất cao; 108 Ω.cm. Tranzito trường làm bằng bán dẫn GaAs có độ dài của.kênh rất ngắn: 0,25 μm; vì vậy các lình kiện loại này hoạt động ở tần số rất cao, thường là lớn hơn 100 GHz, có nghĩa là thời gian truyền cũng rất ngắn khoảng 50 ps trọng một bộ đảo. Tuy nhiên, nó cũng có nhược điểm: Lỗ trống có độ linh động nhỏ: 400 cm2/v.s. Điều này ngăn cản sự chế tạo các CMOS và các tranzito kênh p.

Với công nghệ GaAs người ta có thể tạo được các mạch FET lại vi sóng với tần sộ’ > 18GHz có thể tích rất nhỏ không cồng kềnh có thể tái sản xuất vì vậy giá thành sản phẩm rất hạ. Các vi-mạch số, các mạng mạch phức tạp trước khi phắt, các đầu thu vệ tinh của TV ở tần số 12 GHz… đều được chế tạo theó công nghệ này. Ngoài ra, việc truyền dẫn lưu lượng cao trên các cáp quang trong dải từ 140 hoặc 560 Mbít/s đến 1,2 họặc 2,4 Gbít/s cũng dùng các linh kiện loại này.

2. Công nghệ

Có bốn loại chính:

  • Công nghệ chế tạo các JFET được điều khiển bằng chuyển tiếp P-N giành cho các vi mạch cứng
  • Công nghệ MESFET: được điều khiển bằng điốt Schottky. Công nghệ này được sử dụng nhiều nhất.
  • Các tranzito có độ linh động điện tử cao HEMT. Đó cũng là công nghệ chế tạo tranzito trường MESFET, nhưng kênh dẫn là một chất khí điện tử hai chiều được tạo nên nhờ chuyển tiếp dị tinh thể giữa một lớp Ga Al As pha tạp loại n và một lớp GaAs tinh khiết. Tranzito này hoạt động rất tốt ở vùng nhiệt độ thấp, nhất là nhiệt độ nitơ lỏng 770K cổ độ linh động điện tử rất cao > 100 000 cm2/v.s.      ‘
  • Tranzito HBT n-p-n được cấu tạo nhờ chuyển tiếp dị tinh thể giữa Ga AlẠs n/ GaAsp++ có tần số cắt đến 45 Ghz. Sau đây ta xét một công nghệ điển hình nhất, đó là công nghệ chê’ tạo các tranzito MESFET.

Trả lời

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *